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Ru-MOCVD를 위한 TaSiN막 표면의 ECR 플라즈마 및 Pd 스퍼터링 전처리 세정효과에 관한 연구
Ru-MOCVD를 위한 TaSiN막 표면의 ECR 플라즈마 및 Pd 스퍼터링 전처리 세정효과에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 02533847
- 서명/저자
- Ru-MOCVD를 위한 TaSiN막 표면의 ECR 플라즈마 및 Pd 스퍼터링 전처리 세정효과에 관한 연구 / 임종민, 박현아, 엄태종 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 432-437
- 기타저자
- 임종민, 박현아, 엄태종
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60046444
MARC
008050729s2004 ULKa a KOR■022 ▼a02533847
■245 ▼aRu-MOCVD를 위한 TaSiN막 표면의 ECR 플라즈마 및 Pd 스퍼터링 전처리 세정효과에 관한 연구▼d임종민, 박현아, 엄태종 공저
■260 ▼a서울▼b대한금속.재료학회▼c2004.
■300 ▼app. 432-437
■653 ▼aRUMOCVD를▼a위한▼aTASIN막▼a표면▼aECR▼aPD▼a스퍼터링▼a전처▼a세정
■700 ▼a임종민, 박현아, 엄태종
■773 ▼t대한금속.재료학회지▼gVol.42 No.5 (2004년 5월)▼d2004, 05
■SIS ▼aS010621▼b60013425▼h8▼s2
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