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ISSN  

12296368

서명/저자  

BCI3.CI2/Ar 고밀도 플라즈마에 의한 (Ba, Sr)TiO3 박막의 식각 메커니즘 연구 / 김승범, 김창일 공저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2000.

형태사항  

pp. 18-24

키워드  

BCI3.CI2AR 고밀도 SRTIO3 박막 식각 메커니즘

기타저자  

김승범, 김창일

기본자료저록  

전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제37권 제11호 (2000 11) 2000, 11

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Control Number  

kjul:60043959