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도서명 :
BCI3.CI2/Ar 고밀도 플라즈마
에 의한 (Ba, Sr)TiO3 박막의 식각 메커니즘 연구
저 자 :
김승범, 김창일
청구기호 :
소장처 :
참고자료실(관광학관2층)
대출요구사항 :
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