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BCI3.CI2/Ar 고밀도 플라즈마에 의한 (Ba, Sr)TiO3 박막의 식각 메커니즘 연구
BCI3.CI2/Ar 고밀도 플라즈마에 의한 (Ba, Sr)TiO3 박막의 식각 메커니즘 연구 / 김승범, 김창일...
BCI3.CI2/Ar 고밀도 플라즈마에 의한 (Ba, Sr)TiO3 박막의 식각 메커니즘 연구

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12296368
서명/저자  
BCI3.CI2/Ar 고밀도 플라즈마에 의한 (Ba, Sr)TiO3 박막의 식각 메커니즘 연구 / 김승범, 김창일 공저
발행사항  
서울 : 대한전자공학회, 2000.
형태사항  
pp. 18-24
키워드  
BCI3.CI2AR 고밀도 SRTIO3 박막 식각 메커니즘
기타저자  
김승범, 김창일
기본자료저록  
전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제37권 제11호 (2000 11) 2000, 11
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60043959

MARC

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