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Cl₂/Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N₂가스 첨가 효과
Cl₂/Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N₂가스 첨가 효과
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12296368
- 서명/저자
- Cl₂/Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N₂가스 첨가 효과 / 류재흥, 김남훈, 장의구 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 1-6
- 기타저자
- 류재흥, 김남훈, 장의구
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60043896
MARC
008050713s2000 ULKa a KOR■022 ▼a12296368
■245 ▼aCl₂/Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N₂가스 첨가 효과▼d류재흥, 김남훈, 장의구 공저
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