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  • 도서명 : Cl₂/Ar 유도 결합 플라즈마에서
    Pt 박막 식각시 N₂가스 첨가 효과
  • 저 자 : 류재흥, 김남훈, 장의구
  • 청구기호 :
  • 소장처 :참고자료실(관광학관2층)
  • 대출요구사항 :