자료유형  

 기사

ISSN  

02533847

서명/저자  

기판 바이어스에 의해 증착된 Ta 확산 방지막의 열적 안정성 : 제조 공정 / 임재원,배준우,Minoru Isshiki 공저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2003.

형태사항  

pp. 805-811

키워드  

기판 바이어스 의해 확산 방지 안정성

기타저자  

임재원,배준우,Minoru Isshiki

기본자료저록  

대한금속.재료학회지 : Vol.41 No.11 (2003년 11월) 2003, 11

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Control Number  

kjul:60028332