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도서명 :
기판 바이어스에 의해 증착된 Ta 확
산 방지막의 열적 안정성 : 제조 공정
저 자 :
임재원,배준우,Minoru Isshiki
청구기호 :
소장처 :
참고자료실(관광학관2층)
대출요구사항 :
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