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선형열처리법으로 접합한 실리콘 기판에서 열원의 이동속도가 기판의 접합강도에 미치는 영향에 대한 연구
선형열처리법으로 접합한 실리콘 기판에서 열원의 이동속도가 기판의 접합강도에 미치는 영향에 대한 연구
Detailed Information
MARC
008030718s2001 ULKa a KOR■022 ▼a02533847
■245 ▼a선형열처리법으로 접합한 실리콘 기판에서 열원의 이동속도가 기판의 접합강도에 미치는 영향에 대한 연구▼d주영철, 이진우, 송오성 공저
■260 ▼a서울▼b대한금속.재료학회▼c2001.
■300 ▼app. 110-115
■653 ▼a선형▼a접합▼a실리콘▼a기판▼a에서▼a열원▼a이동▼a영향▼a대한
■700 ▼a주영철, 이진우, 송오성
■773 ▼t대한금속.재료학회지▼gVol.39 No.1 2001▼d2001, 01
■SIS ▼aS009122▼b60013425▼h8▼s2
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