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선형열처리법으로 접합한 실리콘 기판에서 열원의 이동속도가 기판의 접합강도에 미치는 영향에 대한 연구
선형열처리법으로 접합한 실리콘 기판에서 열원의 이동속도가 기판의 접합강도에 미치는 영향에 ...
선형열처리법으로 접합한 실리콘 기판에서 열원의 이동속도가 기판의 접합강도에 미치는 영향에 대한 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
02533847
서명/저자  
선형열처리법으로 접합한 실리콘 기판에서 열원의 이동속도가 기판의 접합강도에 미치는 영향에 대한 연구 / 주영철, 이진우, 송오성 공저
발행사항  
서울 : 대한금속.재료학회, 2001.
형태사항  
pp. 110-115
키워드  
선형 접합 실리콘 기판 에서 열원 이동 영향 대한
기타저자  
주영철, 이진우, 송오성
기본자료저록  
대한금속.재료학회지 : Vol.39 No.1 2001 2001, 01
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60014853

MARC

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