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Si 기판의 소성변형 효과 보정에 의해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류응력 평가
Si 기판의 소성변형 효과 보정에 의해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류응력 평가
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 02533847
- 서명/저자
- Si 기판의 소성변형 효과 보정에 의해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류응력 평가 / 정증현, 김용협, 백영준 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 1675-1683
- 기타저자
- 정증현, 김용협, 백영준
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60014799
MARC
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