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도서명 :
Si 기판의 소성변형 효과 보정에 의
해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류응력 평가
저 자 :
정증현, 김용협, 백영준
청구기호 :
소장처 :
참고자료실(관광학관2층)
대출요구사항 :
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