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Si 기판의 소성변형 효과 보정에 의해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류응력 평가
Si 기판의 소성변형 효과 보정에 의해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류응력 평가
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 02533847
- 서명/저자
- Si 기판의 소성변형 효과 보정에 의해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류응력 평가 / 정증현, 김용협, 백영준 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 1675-1683
- 기타저자
- 정증현, 김용협, 백영준
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60014799
MARC
008030718s2000 ULKa a KOR■022 ▼a02533847
■245 ▼aSi 기판의 소성변형 효과 보정에 의해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류응력 평가▼d정증현, 김용협, 백영준 공저
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■300 ▼app. 1675-1683
■653 ▼a기판▼a소성변형▼a효과▼a보정▼a의해▼a개선▼a곡률▼a이용▼aCVD▼a다이아몬드▼a박막▼a잔류▼a응력▼a평가
■700 ▼a정증현, 김용협, 백영준
■773 ▼t대한금속.재료학회지▼gVol.38 No.12 2000▼d2000, 12
■SIS ▼aS009121▼b60013425▼h8▼s2
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