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CF₂/O₂플라즈마를 이용한 TiN 막의 에칭
CF₂/O₂플라즈마를 이용한 TiN 막의 에칭
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 02533847
- 서명/저자
- CF₂/O₂플라즈마를 이용한 TiN 막의 에칭 / 김경호, 류운선, 홍성필 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 118-122
- 키워드
- CF₂O₂플라즈마를 이용 에칭
- 기타저자
- 김경호, 류운선, 홍성필
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60014417
MARC
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