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  • 도서명 : CF₂/O₂플라즈마를 이용한 TiN
    막의 에칭
  • 저 자 : 김경호, 류운선, 홍성필
  • 청구기호 :
  • 소장처 :참고자료실(관광학관2층)
  • 대출요구사항 :