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UU:VOL11NO32001MARCH PP:한국재료학회 AA:오준환
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Cu와 Si간의 확산방지막으로서의 Ti-Si-N에 관한 연구 선택
Cu와 Si간의 확산방지막으로서의 Ti-Si-N에 관한 연구
오준환
,
| 한국재료학회 |
2001
,
소장정보
소장정보
소장정보
등록번호
별치/청구기호
소장처
대출여부
대출정보
AR103909
P
-
참고자료실(관광학관2층)
대출불가
처음
1
마지막
소트
서명순
저자순
발행년도(1-9)
발행년도(9-1)
구분
자료유형
기사
(1)
출판년도
2001
(1)
언어
kor
(1)
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