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저온공정 실리콘 산화막의 질소 패시베이션 효과

저온공정 실리콘 산화막의 질소 패시베이션 효과

김준식, | 한국전기전자재료학회 | 2006 ,

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등록번호	별치/청구기호	소장처	대출여부	대출정보
AR35651	P -	참고자료실(관광학관2층)	대출불가

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기사 (1)

Publisher

한국전기전자재료학회 (1+)

Year

2006 (1)

Language

kor (1)