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UU:제18권제2호2005년2월 AA:신영화
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ALD와 RE 마그네트론 스퍼터링을 이용한 FBAR 소자의 ZnO 박막증착 및 특성 선택
ALD와 RE 마그네트론 스퍼터링을 이용한 FBAR 소자의 ZnO 박막증착 및 특성
신영화
,
| 한국전기전자재료학회 |
2005
,
소장정보
소장정보
소장정보
등록번호
별치/청구기호
소장처
대출여부
대출정보
AR117616
P
-
참고자료실(관광학관2층)
대출불가
2
FBAR 소자제작을 위한 ZnO 박막 증착 및 특성 선택
FBAR 소자제작을 위한 ZnO 박막 증착 및 특성
신영화
,
| 한국전기전자재료학회 |
2005
,
소장정보
소장정보
소장정보
등록번호
별치/청구기호
소장처
대출여부
대출정보
AR117615
P
-
참고자료실(관광학관2층)
대출불가
처음
1
마지막
소트
서명순
저자순
발행년도(1-9)
발행년도(9-1)
구분
자료유형
기사
(2)
출판사
한국전기전자재료학회
(2+)
출판년도
2005
(2)
언어
kor
(2)
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