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1 Results:UU:제18권제11호2005년11월 AA:김용성 PP:한국전기전자재료학회 0.23 sec.
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반응성 RF 마그네트론 스퍼터링 법을 이용한 AIN/SiC 구조의 제작 및 특성
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김용성, | 한국전기전자재료학회 | 2005 ,
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