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1 Results:UU:제17권제4호 PP:한국전기전자재료학회 AA:금민종 ( GEUM MIN JONG ) 0.109 sec.
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대향타겟스퍼터링법에 의한 FBAR용 AZO(ZnO:Al) 박막의 제작
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금민종 ( Geum Min Jong ), | 한국전기전자재료학회 | 2004 ,
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