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1 Results:UU:제15권제4호2002년4월 AA:송오성(OH SUNG SONG) AA:이상현(SANG HYUN LEE) 0.234 sec.
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선형가열기를 이용한 Si∥SiO2/Si3N4∥Si 이종기판쌍의 직접접합
선형가열기를 이용한 Si∥SiO2/Si3N4∥Si 이종기판쌍의 직접접합
이상현(Sang Hyun Lee), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
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