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고밀도 플라즈마를 이용한 PZT용 Pt/RuO₂이중박막의 식각

고밀도 플라즈마를 이용한 PZT용 Pt/RuO₂이중박막의 식각

이종근, 박세근, | 대한전자공학회 | 2000 ,

Status Info

Status Info
등록번호	별치/청구기호	소장처	대출여부	대출정보
AR13921	P -	참고자료실(관광학관2층)	대출불가

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Сортировка

Очистить

Формат

기사 (1)

Автор

이종근, 박세근 (1+)

Издатель

대한전자공학회 (1+)

Год

2000 (1)

Язык

kor (1)