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Top Ingection 방긱의 ALD 장비를 이용한 Al₂O₃막의 증착에 관한 연구
Top Ingection 방긱의 ALD 장비를 이용한 Al₂O₃막의 증착에 관한 연구
김재범,오기영,이종무, | 대한금속.재료학회 | 2002 ,
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