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ECR 플라즈마 CVD로 증착한 비정질 실리콘 박막의 기판 온도와 열처리에 따른 전기적 특성
ECR 플라즈마 CVD로 증착한 비정질 실리콘 박막의 기판 온도와 열처리에 따른 전기적 특성
강문상, | 대한전자공학회 | 2001 ,
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