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Cl₂/Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N₂가스 첨가 효과
Cl₂/Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N₂가스 첨가 효과
류재흥, 김남훈, 장의구, | 대한전자공학회 | 2000 ,
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