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Al(1%Si)/Si 과 SiO₂/Al(1%Si)/Si 다층박막의 열사이클 변형거동 분석
Al(1%Si)/Si 과 SiO₂/Al(1%Si)/Si 다층박막의 열사이클 변형거동 분석
최호성, 정증현, 이소윤, | 대한금속.재료학회 | 2001 ,
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