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1 Results:SS:처리 PP:대한전자공학회 AA:곽성관, 정관수 0.124 sec.
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furnace 열처리와 질소 플라즈마 처리에 의한 유기화학증착법을 이용한 선택적 구리 증착
furnace 열처리와 질소 플라즈마 처리에 의한 유기화학증착법을 이용한 선택적 구리 증착
곽성관, 정관수, | 대한전자공학회 | 2000 ,
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