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중성자 조사에 의해서 생성된 FZ 실리콘 웨이퍼 내의 점결함 및 저항 변화에 관한 연구
중성자 조사에 의해서 생성된 FZ 실리콘 웨이퍼 내의 점결함 및 저항 변화에 관한 연구
이운섭,류건걸, | 대한금속.재료학회 | 2002 ,
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