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계단식 정전빗살구조물을 이용한 수평구동형 미소공진기의 주파수 조성
계단식 정전빗살구조물을 이용한 수평구동형 미소공진기의 주파수 조성
이기방,서영호,조영호, | 대한기계학회 | 2003 ,
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