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유기금속화학기상증착법에 의해 증착된 구리 핵의 기판과 전처리의 의존성
유기금속화학기상증착법에 의해 증착된 구리 핵의 기판과 전처리의 의존성
곽성관, 이명재, 김동식, | 대한전자공학회 | 2002 ,
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