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대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 TOLED용 ITO 박막의 산소 가스 의존성
대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 TOLED용 ITO 박막의 산소 가스 의존성
금민종, | 한국전기전자재료학회 | 2006 ,
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