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도가니 구조 변경을 통한 6H-SiC 단결정의 직경 확장에 관한 연구
도가니 구조 변경을 통한 6H-SiC 단결정의 직경 확장에 관한 연구
김정규, | 한국전기전자재료학회 | 2006 ,
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