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7 Results:SS:반도 PP:대한기계학회 0.93 sec.
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탐침의 첨단과 반도체 시편 나노접접의 교루전류 가열을 통한 나노스케일 열전계수 측정기법 개발
탐침의 첨단과 반도체 시편 나노접접의 교루전류 가열을 통한 나노스케일 열전계수 측정기법 개발
김경태, | 대한기계학회 | 2006 ,
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반도체 웨이퍼를 위한 새로운 다이싱 방법
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차영엽,최범식, | 대한기계학회 | 2003 ,
3
진공기술과 반도체
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임재영,위영호, | 대한기계학회 | 2000 ,
4
반도체 장비 기술교육
반도체 장비 기술교육
서화일,김광선, | 대한기계학회 | 2000 ,
5
반도체 장비 핵심부품의 신뢰성 평가 장비
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박화영, | 대한기계학회 | 2000 ,
6
국내 반도체 장비개발 현황
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황일록, | 대한기계학회 | 2000 ,
7
반도체 장비 산업 현황 및 전망
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이종희, | 대한기계학회 | 2000 ,
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