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기판 바이어스에 의해 증착된 Ta 확산 방지막의 열적 안정성 : 제조 공정
기판 바이어스에 의해 증착된 Ta 확산 방지막의 열적 안정성 : 제조 공정
임재원,배준우,Minoru Isshiki, | 대한금속.재료학회 | 2003 ,
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