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3 Results:SS:바이어스 PP:대한금속.재료학회 0.78 sec.
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음의 기판 바이어스에 의한 탄탈 박막내의 주요불순물의 농도감소
음의 기판 바이어스에 의한 탄탈 박막내의 주요불순물의 농도감소
임재원, Minoru Isshiki, | 대한금속.재료학회 | 2005 ,
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기판 바이어스에 의한 구리 seed layer의 특성 향상
기판 바이어스에 의한 구리 seed layer의 특성 향상
임재원, Minoru Isshiki, | 대한금속.재료학회 | 2004 ,
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기판 바이어스에 의해 증착된 Ta 확산 방지막의 열적 안정성 : 제조 공정
기판 바이어스에 의해 증착된 Ta 확산 방지막의 열적 안정성 : 제조 공정
임재원,배준우,Minoru Isshiki, | 대한금속.재료학회 | 2003 ,
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