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웨이퍼용 CVD 다이아몬드 후막의 균열발생 제어를 위한 역학적 해석
웨이퍼용 CVD 다이아몬드 후막의 균열발생 제어를 위한 역학적 해석
정증현, 이소윤, 권동일, | 대한금속.재료학회 | 2001 ,
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