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기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의 성장과 미세구조 분석
기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의 성장과 미세구조 분석
유인성, | 한국전기전자재료학회 | 2006 ,
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