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고온 전자빔 증착에 의한 Ethylene Terephthalate상의 SiOx 박막의 특성 평가
고온 전자빔 증착에 의한 Ethylene Terephthalate상의 SiOx 박막의 특성 평가
한진우, | 한국전기전자재료학회 | 2006 ,
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