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3 Results:AA:J SEO PP:한국전기전자재료학회 AA:SANG YONG KIM AA:박창준 ( PARK CHANG JUN ) AA:서용진 ( YONG JIN SEO ) 0.761 sec.
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반도체 : 저 에너지 이온 주입의 개선을 위한 변형된 감속모드 이온 주입의 안정화 특성
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서용진 ( Yong Jin Seo ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
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반도체 : 탈이온수로 희석된 실리카 슬러리에 알루미나 연마제가 첨가된 혼합 연마제 슬러리의 CMP 특성
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서용진 ( Yong Jin Seo ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
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논문 : 반도체 ; 혼합 산화제가 W-CMP 특성에 미치는 영향
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박창준 ( Park Chang Jun ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
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