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RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 Y₂O₃박막의 열전도도 연구
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 Y₂O₃박막의 열전도도 연구
박건형, | 한국물리학회 | 2007 ,
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