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CFD를 이용한 CMP의 Pad Groove 형상 설계 연구
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최치웅, | 유체기계공업학회(Korean Fluid Machinery | 2003 ,
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증발기 내 이상유동의 균일 분배를 위한 헤더 형상의 최적화
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최치웅, | 대한기계학회 | 2006 ,
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