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Pt／YMnO₃／Y₂O₃／Si(MFIS) 구조의 특성에 미치는 Y₂O₃층의 영향
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양정환, | 한국재료학회 | 2000 ,
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반도체 메모리 소자 응용을 위한 TaSiN 확산 방지층의 산화 저항성
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신웅철, | 한국재료학회 | 2000 ,
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