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재사용 가능한 100nm급 패턴의 퀼츠 마스터 제작 및 퀼츠 마스터를 사용한 사출성형실험
재사용 가능한 100nm급 패턴의 퀼츠 마스터 제작 및 퀼츠 마스터를 사용한 사출성형실험
서영호, | 대한기계학회 | 2005 ,
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광학 그레이팅의 사출성형제작을 위한 전자빔과 무반사 코팅층이 없는 크롬/퀼츠 마스크를 이용한 고종횡비 100nm급 니켈 스탬퍼의 제작
광학 그레이팅의 사출성형제작을 위한 전자빔과 무반사 코팅층이 없는 크롬/퀼츠 마스크를 이용한 고종횡비 100nm급 니켈 스탬퍼의 제작
서영호, 최두선, 이준형, | 대한기계학회 | 2004 ,
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