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1 Results:AA:주영철 PP:한국재료학회 AA:정영순 0.31 sec.
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직접접합 실리콘/실리콘질화막//실리콘산화막/실리콘 기판쌍의 선형가열에 의한 보이드 결함 제거
직접접합 실리콘/실리콘질화막//실리콘산화막/실리콘 기판쌍의 선형가열에 의한 보이드 결함 제거
정영순, | 한국재료학회 | 2004 ,
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