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실리콘 공정에서 패턴으로 삭각된 접지(PGS)를 이용한 인터컨넥션의 전송선 특성분석 및 RF/초고주파 집적회로에의 응용
실리콘 공정에서 패턴으로 삭각된 접지(PGS)를 이용한 인터컨넥션의 전송선 특성분석 및 RF/초고주파 집적회로에의 응용
곽혁용, 이상국, 조윤석, | 대한전자공학회 | 2000 ,
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