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1 Results:AA:조상희 PP:한국결정성장학회 AA:최치영 0.93 sec.
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실리콘 웨이퍼에서 광열 변위법과 소수 반송자 재결합 수명 측정에 의한 기계적 후면 손상 평가
실리콘 웨이퍼에서 광열 변위법과 소수 반송자 재결합 수명 측정에 의한 기계적 후면 손상 평가
최치영, | 한국결정성장학회 | 1998 ,
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