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재사용 가능한 100nm급 패턴의 퀼츠 마스터 제작 및 퀼츠 마스터를 사용한 사출성형실험
재사용 가능한 100nm급 패턴의 퀼츠 마스터 제작 및 퀼츠 마스터를 사용한 사출성형실험
서영호, | 대한기계학회 | 2005 ,
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