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1 Results:AA:정장근(JANG GUN JUNG) 김종석(JONG SECK KIM) 김광수(KWANG SOO KIM) 임근희(KEUN HEE LIM) PP:한국전기전자재료학회 0.335 sec.
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비열플라즈마를 이용한 CF4 분해에 미치는 혼합가스의 영향
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박재윤(Jae Yoon Park), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
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