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자기 부상 방식 미세 운동 기구의 동적 모델링
자기 부상 방식 미세 운동 기구의 동적 모델링
정광식 백윤수, | 대한기계학회 | 2000 ,
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자기 흡인식 부상 원리에 기초한 비접촉 서피스 액추에이터의 초정밀범용 스테이지에의 적용 가능성
자기 흡인식 부상 원리에 기초한 비접촉 서피스 액추에이터의 초정밀범용 스테이지에의 적용 가능성
정광식 이상현, | 대한기계학회 | 2002 ,
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