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TMAH/AP 용액의 실리콘 이방성 식각특성 및 다이아프램 제작에 대한 연구
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윤의중, | 대한전자공학회 | 2003 ,
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압저항 압력센서 응용을 위한 TMAH/AP/IPA 용액의 실리콘 이방성 식각특성에 대한 연구
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윤의중, 김좌연, 이태범, 이석태, | 대한전자공학회 | 2004 ,
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